高純制氮機(jī)主要應(yīng)用于外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術(shù)中，液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。

    高純氮的用途：

用于合成氨、硝酸、氰氨化鈣、過氧化氫等生產(chǎn)。純氮氣用作防止氧化、揮發(fā)、易燃物質(zhì)的保護(hù)氣體、燈泡填充氣。液氮主要用作冷源，用于儀器或機(jī)件的深度冷凍處理及食品速凍。也用于低溫微粉碎用及電子工業(yè)等。主要在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件、彩色顯像管制造中用作保護(hù)氣和運載氣，化學(xué)氣相淀積時的載氣，液體擴(kuò)散源的攜帶氣，高溫擴(kuò)散爐中器件的保護(hù)氣，還可用于石油、化工和氮分子激光器的生產(chǎn)中，且可作分析儀器載氣，如標(biāo)準(zhǔn)氣、校正氣、平衡氣及在線儀表標(biāo)準(zhǔn)氣等。純氮用于化工、冶煉及電子工業(yè)，用作置換氣、保護(hù)氣。高純氮用于標(biāo)準(zhǔn)混合氣制備及電子工業(yè)中用作保護(hù)氣、置換氣、運載氣及反應(yīng)氣。用于合成氨，制硝酸，用作物質(zhì)保護(hù)劑、冷凍劑等